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多孔氧化物濕度接近開關傳感器主要指多孔A12O3和多孔SIO2濕度接近開關傳感器。它們的是感濕機理相同，都可制成絕對濕度接近開關傳感器和相對濕度接近開關傳感器。這種接近開關傳感器的制造利用了半導體器件的平面工藝技術，微型多孔SIO2濕度接近開關傳感器可與集成電路制作在同一管芯上，對電路密封管殼內(nèi)的濕度進行監(jiān)測。這類接近開關傳感器為濕度接近開關傳感器的微型化、集成化以及進一步的智能化開辟了新的途徑，所以發(fā)展很快。 下面以多孔SIO2濕度微接近開關傳感器為例，分析多孔氧化物濕度接近開關傳感器的工作機理。 多孔SIO2濕度接近開關傳感器的核心是具有感濕特性的多孔結(jié)構(gòu)SIO2膜。膜中的氣孔開關近似細長的圓管，而且氣孔均勻地從膜表面垂直地鉆蝕到膜的下部。當環(huán)境濕度發(fā)生變化時，膜中氣孔壁上所吸附的水分子數(shù)量也隨之變化，從而引起SIO2膜的電特性改變。電特性的等交往電路是氣孔內(nèi)表面電阻，其數(shù)值直接取決于吸附在氣孔內(nèi)壁上水分子的量，是一個主要的感濕參量。 如果將該等效電路看做是一個RC并聯(lián)電路，那么，這個電路中的電容CP和電阻RP可通過話梅是到。 |
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