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與物理量光電開關(guān)傳感器相比，化學(xué)量傳感器的一個(gè)重要特征在于檢測(cè)過(guò)程中一般會(huì)與測(cè)量環(huán)境之間發(fā)生物質(zhì)的交換。對(duì)于大部分化學(xué)量傳感器來(lái)說(shuō)，這種物質(zhì)的交換過(guò)程往往伴隨著化學(xué)反應(yīng)。顯然與能量交換的可逆性相比，化學(xué)反應(yīng)的可逆性要差得多，往往會(huì)成為影響微傳感器響應(yīng)特性、滯后、重復(fù)性乃至長(zhǎng)期使用壽命等性能指標(biāo)的重要因素。因此，如果從數(shù)值上來(lái)看，大部分化學(xué)量微傳感器的性能指標(biāo)，尤其是使用壽命以及魯棒性方面，尚無(wú)法一物理量微傳感器相比，擺脫化學(xué)反應(yīng)過(guò)程，利用物理方法檢測(cè)化學(xué)量，無(wú)疑是解決這一問題的最好方案。
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