接近開(kāi)關(guān)非電阻式半導(dǎo)體所系元件有MOS二極管式、結(jié)型二極管式和場(chǎng)效應(yīng)管式等。其電流或電壓隨氣體含量而變化，主要檢測(cè)氫和硅烷氣等可燃性氣體。其中，MOSFET接近開(kāi)關(guān)氣體傳感器工作原理是揮發(fā)性有機(jī)化合物VOC與催化金屬接觸發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)產(chǎn)物擴(kuò)散到MOSFET的柵極，改變了元件的性能。可通過(guò)分析元件性能的變化識(shí)別VOC。通過(guò)改變催化金屬的種類和膜厚，可優(yōu)化靈敏度和選擇性，并可改變工作溫度。MOSFET氣體接近開(kāi)關(guān)傳感器靈敏度高，但制作工藝比較復(fù)雜，成本高。 |
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