（1）動作距離 當被測物由正面靠近接近開關(guān)的感應(yīng)面時，使接近開關(guān)動作（輸出狀態(tài)變?yōu)橛行顟B(tài)）距離為接近開關(guān)的動作距離δmin（單位為mm，以下同）。
（2）動作頻率 美妙連續(xù)不斷地進入接近開關(guān)的動作距離后又離開的被測物個數(shù)或次數(shù)稱為動作頻率。若接近開關(guān)的動作頻率太低而被測物又運動得太快時，接近開關(guān)就來不及響應(yīng)物體的運動狀態(tài)，有可能造成漏檢。
（3）復(fù)位距離 當被測物由正面離開接近開關(guān)的感應(yīng)面，接近開關(guān)轉(zhuǎn)為復(fù)位時，被測物離開感應(yīng)面的距離δmin。
（4）額定工作距離 額定工作距離指接近開關(guān)在實際使用中被設(shè)定的安裝距離。在此距離上，接近開關(guān)不應(yīng)受溫度變化、電源波動等外界干擾而產(chǎn)生誤動作。額定工作距離必然小于動作距離，但是若設(shè)置的太小，有可能無法復(fù)位。實際應(yīng)用中，考慮到各方面環(huán)境因素干擾的影響，較為可靠的額定工作距離約為動作距離的75%。
（5）動作滯差 動作滯差△δ指復(fù)位距離與動作距離之差。動作滯差越大，對抗被測物抖動等造成的機械振動干擾的能力就強，但動作準確度就越差。
（6）重復(fù)定位準確度（重復(fù)性） 它表征多次測量的動作距離平均值。其數(shù)值離散性的大小一般為大動作距離的1%-5%。離散性越小，重復(fù)定位準確度越高。
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